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发明名称
INDUCTIVELY-DRIVEN PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号
KR20070056036(A)
申请公布日期
2007.05.31
申请号
KR20077000541
申请日期
2005.07.07
申请人
ENERGETIQ TECHNOLOGY INC.
发明人
SMITH DONALD K.;HORNE STEPHEN F.;BESEN MATTHEW M.;BLACKBOROW PAUL A.
分类号
H01J65/00;H01J37/32;H01J65/04;H05H1/24
主分类号
H01J65/00
代理机构
代理人
主权项
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