| 发明名称 | 被处理体的取出方法、程序存储介质及载置机构 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种被处理体的取出方法，用于将真空吸附在载置台上的上述被处理体取出，其中，上述载置台具有在其上多处开口的多个气体流路，上述被处理体的取出方法包括：(a)通过上述多个气体流路关闭用于真空吸附上述被处理体的真空的工序；(b)利用被处理体抬起单元将上述被处理体从上述载置台抬起的工序；和(c)在工序(b)中，从上述多个气体流路中的至少一个向上述载置台与上述被处理体之间供给气体的工序。此外，本发明还提供一种存储有用于运行上述取出方法的计算机可执行程序的程序存储介质。 | ||
| 申请公布号 | CN1971870A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200610149470.X | 申请日期 | 2006.11.21 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 铃木胜 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);B23Q3/06(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种被处理体的取出方法，用于将真空吸附在载置台上的所述被处理体取出，其中，所述载置台具有在其上多处开口的多个气体流路，所述被处理体的取出方法的特征在于，包括下述工序：(a)在所述多个气体流路中关闭真空的工序，其中，该真空用于真空吸附所述被处理体；(b)用被处理体抬起单元将所述被处理体从所述载置台抬起的工序；和(c)在工序(b)中，从所述多个气体流路中的至少一个向所述载置台与所述被处理体之间供给气体的工序。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||