| 发明名称 | 使用激光束分离材料层的方法 | ||
| 摘要 | 通过辐照材料层和衬底之间的界面，使用剥离方法从衬底上分离材料层。根据一个示例工艺，将层分成多个与衬底上的管芯对应的区段，并且将均匀束斑的形状设置成覆盖整数个区段。 | ||
| 申请公布号 | CN1973375A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200580015231.9 | 申请日期 | 2005.03.29 |
| 申请人 | J.P.瑟塞尔联合公司 | 发明人 | 琼库克·帕克;杰弗里·P.·瑟塞尔;帕特里克·J.·瑟塞尔 |
| 分类号 | H01L29/22(2006.01);H01L33/00(2006.01);H01L21/30(2006.01);H01L21/46(2006.01) | 主分类号 | H01L29/22(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种从衬底上分离至少一层材料的方法，所述方法包括：提供第一和第二衬底以及在所述衬底之间的至少一层材料，将所述至少一层材料分成由间隔分开的多个区段；使用激光形成束斑，其中将所述束斑的形状设置成覆盖整数个所述区段；以及使用所述束斑辐照所述第一衬底和所述区段之间的界面，其中对于所述整数个所述区段中每个都进行所述辐照，直至从所有所述区段中分离所述第一衬底。 | ||
| 地址 | 美国新罕布什尔 | ||