| 发明名称 | 一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，属于半导体器件制造领域，通过本装置对束流的取样分析，可得知终端的束流大小，控制晶片上精确的注入剂量，是一种具有自冷却效果的，针对靶室终端而设计的用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，固定法拉第筒包括：在一法拉第外腔体内，一法拉第内腔体通过一绝缘瓷固定在法拉第外腔体上、在法拉第内腔体和法拉第外腔体之间设置一固定在绝缘瓷上的抑制极，所述抑制极与法拉第内腔体之间保持一定的空隙，法拉第外腔体外固定连接一水冷板，所述法拉第筒通过水冷板悬挂在起固定整个装置的大法兰下部，大法兰上设一起密封作用的O型密封圈，能够精确的进行束流的取样测量，结构简单，运行可靠。 | ||
| 申请公布号 | CN2906915Y | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200620008177.7 | 申请日期 | 2006.03.17 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 易文杰;郭健辉;彭立波;谢均宇 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/265(2006.01);H01L21/66(2006.01);C23C14/48(2006.01);H01J37/317(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 曾永珠 |
| 主权项 | 1.一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，其特征在于：固定法拉第筒包括：在一法拉第外腔体(3)内，一法拉第内腔体(2)通过一绝缘瓷(13)固定在法拉第外腔体(3)上，其相互绝缘，在法拉第内腔体(2)和法拉第外腔体(3)之间设置一固定在绝缘瓷(13)上的抑制极(4)，所述抑制极(4)与法拉第内腔体(2)之间保持一定的空隙，法拉第外腔体(3)外固定连接有一水冷板(14)，所述法拉第筒通过水冷板(14)悬挂在起固定整个装置的大法兰(7)下部，大法兰(7)上设有一个起密封作用的O型密封圈(15)。 | ||
| 地址 | 100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段 | ||