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发明名称
Torsion spring for mems structure
摘要
申请公布号
EP1338553(B1)
申请公布日期
2007.05.30
申请号
EP20030002836
申请日期
2003.02.07
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
JEONG, HEE-MOON
分类号
B81B3/00;F16F1/14;G01C19/56
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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