| 发明名称 | 真空槽的防止变形加强构造 | ||
| 摘要 | 抑制因真空排气或加工精度引起的真空槽的变形，使槽内部配置的设备及部件的位置关系保持一定，其中，在由具有排气口部的真空槽及与真空槽底部相对配置的基板圆顶构成的真空装置中，在排气口部的内部或周边部配置加强部件。 | ||
| 申请公布号 | CN1973058A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200580013043.2 | 申请日期 | 2005.01.24 |
| 申请人 | 株式会社昭和真空 | 发明人 | 泷本昌行;小室弘之;阿部辰弥;布施丰;青名端一仁 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 田军锋;王爱华 |
| 主权项 | 1.一种真空装置，由具有排气口部的真空槽、及与该真空槽底部相对配置的基板圆顶构成，其特征在于，在该排气口部的内部或周边部配置加强部件。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||