发明名称 MASK FOR ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 KR20070055246(A) 申请公布日期 2007.05.30
申请号 KR20050113734 申请日期 2005.11.25
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, MUN SIK
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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