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经营范围
发明名称
MASK FOR ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
KR20070055246(A)
申请公布日期
2007.05.30
申请号
KR20050113734
申请日期
2005.11.25
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
KIM, MUN SIK
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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