发明名称 |
空间光调制器的改进寻址 |
摘要 |
本发明涉及一种减少影响空间光调制器中至少一个可移动微镜的移动程度的充电效应的方法,所述至少一个可移动微镜可以静电吸引到至少一个电极,包含以下步骤:以所述至少一个微镜与所述至少一个电极之间的反向电场序列,静电吸引所述微镜。 |
申请公布号 |
CN1973223A |
申请公布日期 |
2007.05.30 |
申请号 |
CN200580020459.7 |
申请日期 |
2005.04.20 |
申请人 |
麦克罗尼克激光系统公司 |
发明人 |
乌尔里克·扬布莱德;彼得·杜尔 |
分类号 |
G02B6/12(2006.01);G02B26/02(2006.01);G02B26/08(2006.01);G02F1/29(2006.01) |
主分类号 |
G02B6/12(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
钱大勇;蒲迈文 |
主权项 |
1.一种减少影响空间光调制器SLM中至少一个可移动微镜的偏转度的充电效应的方法,所述至少一个微镜可以静电吸引到至少一个电极,包含以下步骤:以所述至少一个微镜与所述至少一个电极之间的反向电场序列,静电吸引所述微镜;以顺时针与逆时针运动序列,偏转所述可移动微镜。 |
地址 |
瑞典泰比 |