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发明名称 PROCEDE D'OXYDATION PLANAIRE POUR REALISER UN ISOLANT ENTERRE LOCALISE
摘要
申请公布号 FR2881876(B1) 申请公布日期 2007.05.25
申请号 FR20050001201 申请日期 2005.02.07
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE SCIENTIFIQUE ET TECHNOLOGIQUE 发明人 ALMUNEAU GUILHEM;MUNOZ YAGUE ANTONIO;CAMPS THIERRY;FONTAINE CHANTAL;BARDINAL DELAGNES VERONIQUE
分类号 H01L21/762;H01L21/223 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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