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发明名称 Method of forming silicon nitride capacitors
摘要
申请公布号 GB2250378(A) 申请公布日期 1992.06.03
申请号 GB19910019888 申请日期 1991.09.18
申请人 * SILICON SYSTEMS INC 发明人 NEAL F * GARDNER
分类号 H01L27/04;H01L21/334;H01L21/822;H01L29/94 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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