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发明名称 Vorrichtung zur Gastrennung
摘要
申请公布号 DE60119446(T2) 申请公布日期 2007.05.24
申请号 DE20016019446T 申请日期 2001.07.16
申请人 ORGANO CORP. 发明人 ABE, TETSUYA;TANZAWA, SADAMITSU;HIROKI, SEIJI;TAJIMA, YOSHINORI;FUTATSUKI, TAKASHI
分类号 B01D53/02;B01D53/34;B01D53/04;B01D53/22;B01D53/68;B01D53/70;C01B17/45;C01B21/083;F25J3/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01D53/02
代理机构 代理人
主权项
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