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发明名称 METHOD FOR ELIMINATING FIRST, SECOND AND THIRD-ORDER AXIAL IMAGE DEFORMATIONS DURING CORRECTION OF THE THIRD-ORDER SPHERICAL ABERRATION IN ELECTRON OPTICAL SYSTEMS
摘要
申请公布号 EP1012866(B1) 申请公布日期 2007.05.23
申请号 EP19980951265 申请日期 1998.08.29
申请人 CEOS CORRECTED ELECTRON OPTICAL SYSTEMS GMBH 发明人 HAIDER, MAXIMILIAN;UHLEMANN, STEPHAN
分类号 G01Q30/06;H01J37/153 主分类号 G01Q30/06
代理机构 代理人
主权项
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