半导体废气处理机之排水模组改良

摘要

本创作系关于半导体废气处理机之排水模组改良，主体包括：一排放管其管身弯呈半圆状地连接于机组之前反应腔与后置滤筒之筒底端，一排水管接通于排放管座对中底端，二环状喷嘴分别套接于排放管两连接端所构成；其特征在于，藉该排放管之特设半圆管状，及环状喷嘴由外而内地向排放管内施予水雾喷洒结构设计，能避免废气在排放管座内产生气流流动死角，进而达到所排放废水中带有之微粒质不致积层堵塞管道，为其功效者。

主权项

1.一种半导体废气处理机之排水模组改良,主体包括:一排放管其管身弯呈半圆状且两管口端分别地密封连接于机组之前反应腔与后置滤筒筒底端,一排水管接通于前述排放管对中底端,二环状喷嘴分别套设于前述排放管两连接端;藉上述机构装置,废气得经水雾由外而内冲刷地流通于排放管,且废水中带有之微粒质得不层积管道内地一齐顺畅排出,为其特征者。图示简单说明:图一 系一种已知昔式半导体废气处理机之排水模组结构示意图。图二 系昔式半导体废气处理机之排水模组实施状态局部示意图。图三 系本创作半导体废气处理机之排水模组实施例之结构关系示意图。图四 系本创作半导体废气处理机之排水模组实施例之结构局部示意图。