发明名称 金氧半导体电路布局
摘要 本发明系提供一种金氧半导体电路布局。该金氧半导体电路布局一矽基底、一半导体元件、一场氧化层以及一多重保护层。该矽基底掺杂一种导体载子,其中该半导体元件与该矽基底电性连接。该场氧化层形成于该矽基底上与半导体元件端点相邻位置,系用以在该场氧化层与该半导体元件间形成一工作区。该多重保护层覆盖于工作区上以半导体元件端点与场氧化层连接,其中该多重保护层提供一介于该半导体元件与该矽基底间的截面崩溃路径,该截面崩溃路径系用以增加该半导体元件的截面崩溃电压。
申请公布号 TWI281739 申请公布日期 2007.05.21
申请号 TW093137651 申请日期 2004.12.06
申请人 台湾类比科技股份有限公司 发明人 方振宇;陈维忠;李深地;余建朋;王一诚
分类号 H01L23/58(2006.01);H01L21/76(2006.01) 主分类号 H01L23/58(2006.01)
代理机构 代理人 许俊仁 台北市中山区长安东路1段25号3楼303室;周俊智 台北市中山区长安东路1段25号3楼303室
主权项 1.一金氧半导体电路布局,包含: 一矽基底,该矽基底中有导体载子掺杂; 一半导体元件,该半导体元件具有一端点,系电连 接该矽基底; 一场氧化层,系形成于矽基底上与该半导体元件端 点间隔位置,用以于该场氧化层与该半导体元件间 形成一工作区; 一多重保护层,系覆盖于该工作区上;以及 一嵌入掺杂层,形成在该场氧化层以及该矽基底之 间,并邻近该工作区,其中该工作区提供一介于该 半导体元件与该嵌入掺杂层间的截面崩溃路径以 增加该半导体元件的截面崩溃电压。 2.如申请范围第1项所述之金氧半导体电路布局,更 包含一嵌入掺杂层,其系形成于该场氧化层与该矽 基底之间与该工作区之上,该嵌入掺杂层位于该场 氧化层之下,该N-P接面端点邻近区域与该基底的浓 度被提高,以防止该N-P接面出现穿通效应。 3.如申请范围第2项所述之金氧半导体电路布局,其 中该多重保护层于覆盖该半导体元件前先覆盖该 矽基底,使该多重保护层嵌入该矽基底与该矽基底 电性连接,以提供经由该半导体元件至该多重保护 层最后到达该嵌入掺杂层的崩溃路径,用以增加该 半导体元件的崩溃电压。 4.如申请范围第3项所述之金氧半导体电路布局,其 中该嵌入掺杂层之掺杂元素为硼元素,具有一P型 嵌入层,系覆盖于该场氧化层与该矽基底之间,该 嵌入掺杂层位于该场氧化层之下部分与该N-P接面 端点邻近区域的浓度被提高。 5.如申请范围第1项所述之金氧半导体电路布局,其 中该半导体元件端点为N型掺杂且该端点可为该半 导体元件中的一源极端或一集极端。 6.如申请范围第4项所述之金氧半导体电路布局,其 中该半导体元件端点为N型掺杂且该端点可为该半 导体元件中的一源极端或一集极端。 7.如申请范围第1项所述之金氧半导体电路布局,其 中该矽基底为N形井(N-well)基底。 8.如申请范围第6项所述之金氧半导体电路布局,其 中该矽基底为P形井(P-well)基底。 9.如申请范围第7项所述之金氧半导体电路布局,其 中该N-P接面的崩溃电压约略为14伏特。 10.如申请范围第8项所述之金氧半导体电路布局, 其中该N-P接面的崩溃电压约略为14伏特。 11.如申请范围第3项所述之金氧半导体电路布局, 其中该嵌入掺杂层之掺杂元素为磷元素,具有一N 型嵌入层,系覆盖于该场氧化层与该矽基底之间, 该嵌入掺杂层位于该场氧化层部分与该N-P接面端 点邻近区域的浓度被提高。 12.如申请范围第1项所述之金氧半导体电路布局, 其中该半导体元件端点为P型掺杂且该端点可为该 半导体元件中的一源极端或一集极端。 13.如申请范围第11项所述之金氧半导体电路布局, 其中该半导体元件端点为P型掺杂且该端点可为该 半导体元件中的一源极端或一集极端。 14.如申请范围第1项所述之金氧半导体电路布局, 其中该矽基底为N形井(N-well)基底。 15.如申请范围第13项所述之金氧半导体电路布局, 其中该矽基底为N形井(N-well)基底。 16.如申请范围第14项所述之金氧半导体电路布局, 其中该N-P接面的崩溃电压约略为13伏特。 17.如申请范围第15项所述之金氧半导体电路布局, 其中该N-P接面的崩溃电压约略为13伏特。 18.如申请范围第1项所述之金氧半导体电路布局, 其中该多重保护层系覆盖该工作区与该半导体元 件端点上,该多重保护层用于阻隔该金氧半导体电 路布局中的静电放电效应以避免于该金氧半导体 电路布局中使用前述静电保护电路。 19.如申请范围第10项所述之金氧半导体电路布局, 其中该多重保护层系覆盖该工作区与该半导体元 件端点上,该多重保护层用于阻隔该金氧半导体电 路布局中的静电放电效应以避免于该金氧半导体 电路布局中使用前述静电保护电路。 20.如申请范围第17项所述之金氧半导体电路布局, 其中该多重保护层系覆盖该工作区与该半导体元 件端点上,该多重保护层用于阻隔该金氧半导体电 路布局中的静电放电效应以避免于该金氧半导体 电路布局中使用前述静电保护电路。 图式简单说明: 第1图为一习知的N型金氧半导体电路布局示意图 。 第2图为一包含静电放电保护的习知金氧半导体电 路布局示意图。 第3图为本发明最佳实施例中之N型金氧半导体电 路布局示意图。 第4图为本发明最佳实施例中之P型金氧半导体电 路布局示意图。 第5图为本发明最佳实施例中之金氧半导体方块示 意图。
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