| 主权项 |
1.一种具清除有机及氧化污染且具有效散热、清 除废气功能之电浆清洁设备,其包括: 电极部,其具有复数个以一预定距离间隔并排之电 极; 放热部,其具有接触于该电极部一侧之突出块放热 板、及一与该突出块放热板配合之放热墙; 原料气体导入部,其形成于该放热部一侧,并与该 突出块放热板和该放热墙之间所形成之通道的一 端相通,用于导引原料气体经过该放热部; 原料气体供给导引部,其与该突出块放热板和该放 热墙之间所形成之通道的另一端相通,用于接收经 过该放热部之原料气体;以及 吸排气部,其设置于与该原料气体导入部分离的空 间上,并且该吸排气部上端系具有与外部相通之第 一气体通路,该吸排气部下端系具有与外部相通之 第二气体通路。 2.如申请专利范围第1项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备,其进一步包括:连通于该电极部与该原料气体 供给导引部之原料气体临时贮存部。 3.如申请专利范围第2项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备,其中该原料气体临时贮存部之内部系装有复数 颗陶瓷球。 4.如申请专利范围第1项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备,其中该第一气体通路系吸入冷却气体,再由该 第二气体通路排出,而形成排气功能;或者该第二 气体通路系吸入气体,再由该第一气体通路排出, 而形成吸气功能。 5.如申请专利范围第4项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备,其中该排气功能与该吸气功能系同时或分开作 用在同一电浆清洁设备上。 6.如申请专利范围第1项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备,其中该第二气体通路之出风口方向系与地面呈 垂直状态。 7.如申请专利范围第1项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备,其中该第二气体通路之出风口方向系与地面呈 倾斜状态。 8.如申请专利范围第1项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备,其中该突出块放热板系具有复数个放热块。 9.一种具清除有机及氧化污染且具有效散热、清 除废气功能之电浆清洁设备之整合系统,其包括: 复数个彼此间隔一预定距离排列之电浆清洁设备, 其中每一个电浆清洁设备包括: 电极部,其具有复数个以一预定距离间隔并排之电 极; 放热部,其具有接触于该电极部一侧之突出块放热 板、及一与该突出块放热板配合之放热墙; 原料气体导入部,其形成于该放热部一侧,并与该 突出块放热板和该放热墙之间所形成之通道的一 端相通,用于导引原料气体经过该放热部之放热块 ; 原料气体供给导引部,其与该突出块放热板和该放 热墙之间所形成之通道的另一端相通,用于接收经 过该放热部之原料气体;以及 吸排气部,其设置于与该原料气体导入部分离的空 间上,并且该吸排气部上端系具有与外部相通之第 一气体通路,该吸排气部下端系具有与外部相通之 第二气体通路。 10.如申请专利范围第9项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备之整合系统,其中所有的第一气体通路系接收冷 却气体,并配合该等相对应之第二气体通路将冷却 气体排出,以产生冷却经过电浆处理后之待清洁物 及电极部之排气功能。 11.如申请专利范围第9项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备之整合系统,其中所有的第二气体通路系吸入电 浆处理过程中所产生的废气,并配合该等相对应之 第一气体将废气排出,以产生吸除废气之吸气功能 。 12.如申请专利范围第9项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备具清除有机及氧化污染且具有效散热、清除废 气功能之电浆清洁设备之整合系统,其中最外围的 第一气体通路系接收冷却气体,并配合该等最外围 相对应之第二气体通路将冷却气体排出,以产生冷 却经过电浆处理后之待清洁物及电极部之排气功 能;其它的第二气体通路则吸入电浆处理过程中所 产生的废气,并配合其它该等相对应之第一气体将 废气排出,以产生吸除废气之吸气功能。 13.如申请专利范围第9项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备之整合系统,其中最外围的第二气体通路系吸入 电浆处理过程中所产生的废气,并配合该等最外围 相对应之第一气体将废气排出,以产生吸除废气之 吸气功能;其它的第一气体通路则接收冷却气体, 并配合其它该等相对应之第二气体通路将冷却气 体排出,以产生冷却经过电浆处理后之待清洁物及 电极部之排气功能。 14.如申请专利范围第9项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备之整合系统,其中每一个大气式电浆清洁设备之 其中一第一气体通路系接收冷却气体,并配合相对 应之其中一第二气体通路将冷却气体排出,以产生 冷却经过电浆处理后之待清洁物及电极部之排气 功能;另外,每一个大气式电浆清洁设备之另一个 第二气体通路系吸入电浆处理过程中所产生的废 气,并配合相对应之另一个第一气体将废气排出, 以产生吸除废气之吸气功能。 15.如申请专利范围第9项所述之具清除有机及氧化 污染且具有效散热、清除废气功能之电浆清洁设 备之整合系统,其中在每两个大气式电浆清洁设备 之间系安装有一吸气部。 图式简单说明: 第一图系本发明大气式电浆清洁设备之正视剖面 图; 第二图系本发明大气式电浆清洁设备之侧视剖面 图; 第三图系本发明大气式电浆清洁设备之上视图; 第四图系本发明大气式电浆清洁设备之突出块放 热板之立体示意图; 第五图系本发明大气式电浆清洁设备之第二气体 通路及电浆排出口之立体示意图; 第六图系本发明电浆清洁设备整合系统之剖面示 意图;以及 第七图至第十二图系本发明电浆清洁设备整合系 统对于运作各类执行例子的之剖面示意图。 |
