发明名称 药液供应装置以及药液供应方法
摘要 缓冲槽部6具有利用液体导入流路42而连通至收容药液之液体槽46的液体贮留室61。过滤部4具有过滤入口41a及过滤出口41b,且过滤入口41a系连通至缓冲槽部6之液体吐出口60d。帮浦11之帮浦入口11a系,连接至过滤出口41b,其帮浦出口11b系,经由液体吐出流路47而连接至吐出喷嘴50。回流路48系,连接至帮浦出口11b和缓冲槽部6之间,并使由帮浦11吐出的药液返回至液体贮留室61。排气流路49系,连接至缓冲槽部6,并把液体贮留室61内的空气排气。
申请公布号 TWI281702 申请公布日期 2007.05.21
申请号 TW091136351 申请日期 2002.12.17
申请人 小金井股份有限公司 发明人 矢岛丈夫
分类号 H01L21/027(2006.01);F04B23/00(2006.01) 主分类号 H01L21/027(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 1.一种药液供应装置,其特征在于包括: 一缓冲槽部,具有一液体贮留室,利用一液体导入 流路以连通至收容药液的一液体槽; 一过滤部,具有一过滤入口及一过滤出口,该过滤 入口系连通至该缓冲部之一液体吐出口; 一帮浦,具有一帮浦入口,连接至该过滤出口,以及 一帮浦出口,经由该液体吐出流路而连接至一吐出 喷嘴; 一回流路,连接至该帮浦出口和该缓冲槽部之间, 并使由该帮浦吐出的药液返回至该液体贮留室;以 及 一排气流路,连接至该缓冲槽部,并把该液体贮留 室内的空气排气。 2.如申请专利范围第1项所述之药液供应装置,其特 征在于:具有一排气流路,连接至该过滤部,并把该 过滤部内的气体排出。 3.一种药液供应方法,应用于一药液供应装置,其中 该药液供应装置包括:透过一液体导入流路而和收 容药液的一液体槽相连通的一液体贮留室、具有 连通至该液体贮留室之一液体吐出口的一过滤入 口及一过滤出口的一过滤器、具有连通至该过滤 出口之一帮浦入口及经由该液体吐出流路而连接 至一吐出喷嘴之一帮浦出口的一帮浦、设于该液 体吐出流路以控制该帮浦出口和该吐出喷嘴之间 的连通之开闭的一吐出阀,以及连接于该帮浦出口 和该液体贮留室之间,并使由该帮浦吐出的药液返 回至该液体贮留室的一回流路,其特征在于,该药 液供应方法包括: 一吸入工程,使该帮浦作动,并吸入从该液体贮留 室通过该过滤器而过滤后的药液; 一回馈工程,当净化药液时,关闭该吐出阀,以藉由 该帮浦的吐出作动使药液经由该回流路返回至该 液体贮留室; 一吐出工程,当供应药液时,打开该吐出阀,以藉由 该帮浦的吐出作动使药液经由该液体吐出流路从 该吐出喷嘴吐出;以及 切换该吐出阀的开闭,以将循环过滤后的药液从该 吐出喷嘴吐出。 4.一种药液供应方法,应用于一药液供应装置,该药 液供应装置包括:透过一液体导入流路而和收容药 液的一液体槽相连通的一液体贮留室、具有连通 至该液体贮留室之一液体吐出口的一帮浦入口及 经由该液体吐出流路而连通至一吐出喷嘴之一帮 浦出口的一帮浦、设于该液体吐出流路以控制该 帮浦出口和该吐出喷嘴之间的连通之开闭的一吐 出阀、连接于该帮浦出口和该液体贮留室之间,使 由该帮浦吐出的药液返回至该液体贮留室的一回 流路,以及连通至该液体贮留室以把该液体贮留室 内的空气排气的一排气流路,其特征在于,该药液 供应方法包括: 一吸入工程,使该帮浦作动,并从该液体贮留室把 药液吸入; 一排气工程,当净化药液时,关闭该吐出阀,以藉由 该帮浦的吐出作动使药液经由该回流路返回至该 液体贮留室,并把集中至该液体贮留室内的空气经 由该排气流路而排气; 一吐出工程,当供应药液时,打开该吐出阀,以藉由 该帮浦的吐出作动使药液经由该液体吐出流路从 该吐出喷嘴吐出;以及 切换该吐出阀的开闭,以将回馈排气后的药液从该 吐出喷嘴吐出。 图式简单说明: 第1图绘示本发明之一实施例的药液供应装置的液 体回路图之概示图。 第2图绘示利用第1图的液体回路图所构成的药液 供应装置之详细结构断面图。 第3图绘示第2图的帮浦之详细断面图。
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