| 主权项 |
1.一种被覆用组成物,其特征系含有具氟化烷基的 乙烯系单体(A)之单体组成物聚合后所得的乙烯系 聚合物(I)组成之氟系界面活性剂、感光性树脂及 有机溶剂,在含有这些物质的被覆用组成物中, (1)乙烯系聚合物(I)系含有0.1~5质量%氟原子之聚合 物,且 (2)相对于该乙烯系聚合物(I)及该感光性树脂的合 计质量,上述乙烯系聚合物(I)的比例为0.25~2.0质量% 。 2.如申请专利范围第1项之被覆用组成物,其中该乙 烯系聚合物(I)在0.05~ 2.0质量%的浓度范围之全域中 ,于20℃皆可溶解于水。 3.如申请专利范围第1项之被覆用组成物,其中该乙 烯系聚合物(I)系含有0.5~4质量%氟原子之聚合物,且 相对于氟系界面活性剂和感光性树脂的合计质量 此聚合物(I)的比例为0.25 ~1.0质量%。 4.如申请专利范围第3项之被覆用组成物,其中该乙 烯系聚合物(I)系将 (1)含氟化烷基的乙烯系单体(A)、 (2)含亲水性结构单位的乙烯系单体(B)、及 (3)含一种以上选自含分枝状脂肪族烃基的乙烯系 单体(C1)和含聚矽氧烷链的乙烯系单体(C2)之乙烯 系单体的单体组成物聚合后所得之乙烯系聚合物 。 5.如申请专利范围第4项之被覆用组成物,其中该乙 烯系聚合物(I)系将 (1)0.2~5质量%含氟化烷基的乙烯系单体(A)、 (2)10~80质量%含亲水性结构单位的乙烯系单体(B)、 及 (3)含分枝状脂肪族烃基的乙烯系单体(C1)和含聚矽 氧烷链的乙烯系单体(C2)合计5~50质量%的单体组成 物聚合后所得之乙烯系聚合物。 6.如申请专利范围第5项之被覆用组成物,其中含该 亲水性结构单位的乙烯系单体(B)系含聚环氧烷撑 基之乙烯系单体。 7.如申请专利范围第1至6项中任一项之被覆用组成 物,系旋转被覆用组成物。 8.如申请专利范围第1至6项中任一项之被覆用组成 物,系光阻旋转被覆用组成物。 |
