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发明名称 DEVICE FOR REMOVING PHOTORESIST ON THE SUBSTRATE EDGE
摘要
申请公布号 KR20070051612(A) 申请公布日期 2007.05.18
申请号 KR20050123840 申请日期 2005.12.15
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CORPORATION 发明人 SEO, HAENG GYUN;CHOI, YONG WON
分类号 H05B33/10;H05B33/22 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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