使用氟化硫以移除表面沈积物之方法

摘要

本发明系关于一种经改良之远端电浆清洁方法，用以自表面(例如自用以制造电子装置之制程腔室内部)移除表面沈积物。其改良包含将氮源添加至包含氧源及氟化硫之进料气体混合物中。