| 摘要 |
本发明提供一种具有简易之构成，而且在与检查对象之间可进行正确对位之接触单元。在接触单元(2)所具备之支撑基板(15)之上面，对应于作为检查对象之电路形成区域(5a)所具备之测试垫(11)之配置形态，配置有接触探针(13)之同时，对应于虚设垫(7a)至(7d)，配置有检测探针群(14a)至(14d)。检测探针群(14)系由探针(19、20)所构成，而分别连接于构成位置关系检测部(22)之发光二极体(12)及电压源(21)。以接触单元(2)实施检查时，经由探针(19、20)与所对应之虚设垫(7)接触而互为导通时，发光二极体会发光，因此藉由确认发光二极体(12)之发光状态，即可判定是否正确进行对位。 |
