光阻液供给装置及用以得到该光阻液供给装置之改造套件

摘要

本发明之课题系提供一种光阻液供给装置，在谋求降低光阻液的运送成本之同时，可以避免使用可直接连结在目前之LCD面板制造线路上之昂贵的小型专用容器，能够削减光阻液的总供给成本。本发明之解决手段系提供一种光阻液供给装置，先检测调配槽内的液体浓度及黏度中的至少一方，基于该检测结果来调整原料液和溶剂的注入分量，用以进行稀释控制之同时，藉由缓冲槽在一定期间贮存该稀释控制所得到的制品用光阻液而使其稳定化。