模具及其制备方法

摘要

本发明涉及一种模具及其制备方法。所述模具包括一基材及一形成在所述基材上的保护层，所述保护层包括依次形成在所述基材上的一粘附层、一渐变多层膜及一类金刚石碳薄膜；所述粘附层为铬、钛、硅、氮化铬、氮化钛、碳化硅或氮化硅的薄膜；所述渐变多层膜为N层结构，其中5≤N≤30，所述渐变多层膜每层中均包括类金刚石碳及一添加物，所述添加物包括铬、钛、硅、氮化铬、氮化钛、碳化硅或氮化硅中的一种或其混合物，从靠近所述粘附层的第一层至靠近所述类金刚石碳薄膜的第N层，其中添加物的含量依次降低。本发明的模具保护层与基材结合力强，抗腐蚀能力及耐磨性能优异。

主权项

1.一种模具，其包括一基材及一形成在所述基材上的保护层，其特征在于所述保护层包括依次形成在所述基材上的一粘附层、一渐变多层膜及一类金刚石碳薄膜；所述粘附层为铬、钛、硅、氮化铬、氮化钛、碳化硅或氮化硅的薄膜；所述渐变多层膜为N层结构，其中5≤N≤30，所述渐变多层膜每层中均包括类金刚石碳及一添加物，所述添加物包括铬、钛、硅、氮化铬、氮化钛、碳化硅或氮化硅中的一种或其混合物，从靠近所述粘附层的第一层至靠近所述类金刚石碳薄膜的第N层，其中添加物的含量依次降低。