发明名称 |
用于等离子体处理中故障识别的方法 |
摘要 |
一种在由射频源供电的等离子体处理中故障识别的方法,首先包含:对于给定的基线等离子体处理,确定射频源的多个傅立叶分量的幅度变化,该变化是由多个处理输入参数相对它们的基线值而变化所导致的。把这些幅度变化存储为参考数据。在后续的产品运行期间,监视等离子体处理的故障,并且若发现有故障,则以与原始基线标称值相同的输入参数来重复基线处理。确定傅立叶分量对于原始基线值的变化,并与参考数据比较,以确定哪个(些)参数发生了变化。 |
申请公布号 |
CN1316546C |
申请公布日期 |
2007.05.16 |
申请号 |
CN01811324.9 |
申请日期 |
2001.06.18 |
申请人 |
科学系统研究有限公司 |
发明人 |
约翰·斯坎伦;贾斯廷·劳勒;斯蒂芬·丹尼尔斯 |
分类号 |
H01J37/32(2006.01);G01N27/66(2006.01) |
主分类号 |
H01J37/32(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
黄小临;王志森 |
主权项 |
1.一种在由射频源供电的等离子体处理中故障识别的方法,包含以下步骤:(a)对于给定的在生产运行前执行的基线等离子体处理,确定射频源的多个傅立叶分量的幅度变化,该变化是由多个处理输入参数相对它们的基线值的已知变化所导致的,(b)把所述参数变化和相应傅里叶分量的幅度变化存储为参考数据,(c)在后续的产品运行期间运行等离子体处理,(d)在所述产品运行期间确定等离子体处理中是否有故障,(e)若有故障,则以与步骤(a)的基线标称值相同的输入参数来重复基线处理,(f)对于重复的基线处理,确定所述傅立叶分量的幅度,和(g)比较步骤(f)所确定的数据与参考数据,以确定哪个或哪些参数发生了变化。 |
地址 |
爱尔兰都伯林 |