| 发明名称 | 固体摄像器件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种固体摄像器件及其制造方法，在半导体衬底(11)上配置多个光电变换元件(13)，在多个光电变换元件(13)的上方按规定图形形成有多色的滤色层(20)。在相邻的光电变换元件(13)的边界区的上方形成规定宽度的绿色滤色部(22)，该绿色滤色部(22)形成为山形或梯形的剖面形状，各滤色层(20)形成在相邻的绿色滤色部(22)的棱线之间。棱线部所对应的滤色层(20)的周边部的膜厚比部的膜厚薄。该固体摄像器件能够防止相邻的滤色层的混色，并改善线浓淡、灵敏度误差和色斑。 | ||
| 申请公布号 | CN1964060A | 申请公布日期 | 2007.05.16 |
| 申请号 | CN200610146356.1 | 申请日期 | 2006.11.10 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 横泽贤二 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01);G02B5/20(2006.01) | 主分类号 | H01L27/146(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 胡建新 |
| 主权项 | 1、一种固体摄像器件，在半导体衬底上配置多个光电变换元件，在上述多个光电变换元件的上方按规定图形形成有多色的滤色层，其特征在于，在相邻的光电变换元件的边界区的上方形成规定宽度的绿色滤色部，该绿色滤色部形成为山形或梯形的剖面形状，在上述绿色滤色部的棱线和棱线之间形成上述多色的滤色层，位于上述绿色滤色部的棱线部的上述滤色层的周边部的膜厚形成为比中央部的膜厚薄。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||