发明名称 电位测量器和图像形成设备
摘要 本发明涉及一种电位测量器和图像形成设备。该电位测量器包括设置在半导体基片(100)上位于对着测量对象(106)的位置的电极和用来调节测量对象(106)与该电极(101)之间的耦合电容的调节装置(104)。该电极(101)是场效应型晶体管的栅极。通过检测电路按该调节装置的调节频率同步检测在该场效应型晶体管的源极(102)扩散区和漏极扩散(103)区之间流过的已调节电流。通过改变电位测量器的电极(101)和测量对象(106)之间的耦合电容,可以方便地测量场效应型晶体管栅极(101)上出现的输出信号。
申请公布号 CN1965238A 申请公布日期 2007.05.16
申请号 CN200580018541.6 申请日期 2005.06.07
申请人 佳能株式会社 发明人 市村好克
分类号 G01R29/12(2006.01) 主分类号 G01R29/12(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王萍
主权项 1.一种电位测量器,包括设置在对着测量对象的位置上的半导体基片、设置在该半导体基片上的电极以及用于调节测量对象和所述电极之间的耦合电容的调节装置,其中所述电极是场效应型晶体管的栅极。
地址 日本东京