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发明名称 In Schwingung versetzbares Bausteinbefestigungswerkzeug
摘要
申请公布号 DE112005001730(T5) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 DE200511001730 申请日期 2005.07.08
申请人 INTEL CORP. 发明人 CASKEY, TERRENCE;LEBONHEUR, VASSOUDEVANE
分类号 H01L21/607;H01L21/60 主分类号 H01L21/607
代理机构 代理人
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