发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100720995(B1) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 KR20060018894 申请日期 2006.02.27
申请人 KOOKJE (KOKUSAI) ELECTRIC KOREA CO., LTD. 发明人 PARK, YONG SUNG;LEE, SUNG KWANG;KIM, DONG YEUL;KIM, KI HOON
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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