发明名称 NON-POLAR SINGLE CRYSTALLINE A-PLANE NITRIDE SEMICONDUCTOR WAFER AND PREPARATION THEREOF
摘要
申请公布号 KR100718188(B1) 申请公布日期 2007.05.15
申请号 KR20050033981 申请日期 2005.04.25
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;H01L21/20;C23C16/34;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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