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发明名称 SUBSTRATE PROCESS APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070048865(A) 申请公布日期 2007.05.10
申请号 KR20050105897 申请日期 2005.11.07
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 CHOI, JAE WOOK
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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