发明名称 形成半导体布线和最终器件的方法
摘要 公开了用于由硅或其他半导体材料形成布线的方法。还公开了包括这种半导体布线的各种装置。根据一个实施例,布线与下面的衬底分隔开,并且布线在第一端部和相对的第二端部之间延伸,第一和第二端部中的每一个都贴附于衬底。介绍并要求保护其他实施例。
申请公布号 CN1961413A 申请公布日期 2007.05.09
申请号 CN200580017353.1 申请日期 2005.06.20
申请人 英特尔公司 发明人 彼得·L·D·昌
分类号 H01L21/336(2006.01);H01L29/786(2006.01);H01L29/423(2006.01) 主分类号 H01L21/336(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 王英
主权项 1、一种方法,包括:氧化设置在衬底上的半导体本体内部区域下面的部分衬底,该内部区域在该半导体本体的相对的端部区域之间延伸;去除该下面衬底的氧化部分,以形成将该半导体本体的内部区域与该衬底分开的钻蚀部分。
地址 美国加利福尼亚