| 发明名称 | 基板卸载装置以及基板卸载方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供基板卸载装置以及基板卸载方法，该基板卸载装置可简化基板的拆卸作业，并且，即使在基板的厚度很薄的情况下，也可以容易地进行拆卸和装载。基板拆卸装置(50)在搬送用吊架(15)下降的状态下，解除夹钳(48)对基板(W)的夹持。基板接受器(52)在搬送用吊架(15)沿铅直方向下降时，接收基板(W)。通过旋转气缸(54a)的动作，使基板接受器(52)旋转。搬送辊(56)将旋转后的基板接受器(52)内所收容的基板，沿水平方向从开口部(52a)进行搬送。 | ||
| 申请公布号 | CN1959950A | 申请公布日期 | 2007.05.09 |
| 申请号 | CN200610136338.5 | 申请日期 | 2006.10.16 |
| 申请人 | 上村工业株式会社 | 发明人 | 佐生晴司;大村泰基 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01);C25D17/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 1.一种基板卸载装置，该基板卸载装置用于从夹持有基板的搬送用吊架上卸下基板，其特征在于，该基板卸载装置具有：基板拆卸装置，其解除搬送用吊架对基板的夹持；基板收容装置，其具有基板接受器，当从所述基板接受器的开口部在铅直方向上接收和收容通过所述基板拆卸装置从搬送用吊架上卸下的基板后，旋转该基板接受器，将基板从所述开口部搬出。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||