发明名称 |
介电微腔传感器 |
摘要 |
在微腔传感器中使用凸出状微腔(500)提供了在对准和制造中的再现性方面的优点。凸出状微腔的阵列可以和多个波导一起使用。另外,凸出状微腔可用由聚合物材料制成的至少外层形成,并可全部由聚合物材料形成。这给制造带来了便利,因为微腔可以模制,并且还可按阵列配置可再现地模制。 |
申请公布号 |
CN1961207A |
申请公布日期 |
2007.05.09 |
申请号 |
CN200580017152.1 |
申请日期 |
2005.04.15 |
申请人 |
3M创新有限公司 |
发明人 |
范旭东;罗伯特·W·威尔逊 |
分类号 |
G01N21/77(2006.01);G01N21/55(2006.01);G01N21/64(2006.01);G01D5/353(2006.01) |
主分类号 |
G01N21/77(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
梁晓广;陆锦华 |
主权项 |
1.一种微谐振腔阵列设备,其包括:至少第一和第二光波导,它们彼此间隔开;和第一凸出状微腔部件,其用至少第一和第二凸出状微腔形成并跨所述第一和第二光波导延伸,所述第一凸出状微腔设置得接近第一光波导,以光学耦合第一凸出状微腔和第一光波导之间的光,所述第二凸出状微腔设置得接近第二光波导,以光学耦合第二凸出状微腔和第二光波导之间的光。 |
地址 |
美国明尼苏达州 |