| 发明名称 | 有机防反射涂料聚合物及有机防反射涂料组合物以及形成光致抗蚀剂图案的方法 | ||
| 摘要 | 在本文中公开一种适合在半导体装置制造期间用于超精细图案形成的有机防反射涂料聚合物。该有机防反射涂料聚合物具有约2000～约100000的重均分子量，并且由式1表示，式中R<SUB>1</SUB>为C1～C5直链或支链烷基，R<SUB>2</SUB>和R<SUB>3</SUB>各自独立地为氢或甲基，X为卤素，n为1～5的数，且表示各单体的摩尔分数的a、b和c各自独立地为约0.1～约0.9。还发明公开一种包含所述涂料聚合物的有机防反射涂料组合物，及利用所述涂料组合物形成光致抗蚀剂图案的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1958629A | 申请公布日期 | 2007.05.09 |
| 申请号 | CN200610108434.9 | 申请日期 | 2006.08.02 |
| 申请人 | 海力士半导体有限公司 | 发明人 | 郑儎昌 |
| 分类号 | C08F220/10(2006.01);C08F220/26(2006.01);C08F212/08(2006.01);C08F4/04(2006.01);C08F4/32(2006.01);C09D133/00(2006.01);G03F7/16(2006.01);G03F7/20(2006.01);G03F7/26(2006.01) | 主分类号 | C08F220/10(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 1.一种有机防反射涂料聚合物，其具有约2000～约100000的重均分子量，并且由下式1表示：<img file="A2006101084340002C1.GIF" wi="1018" he="299" />式中R<sub>1</sub>为C1～C5直链或支链烷基，R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>各自独立地为氢或甲基，X为卤素，n为1～5的数，且表示各单体的摩尔分数的a、b和c各自独立地为约0.1～约0.9。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||