变焦透镜

摘要

一种微镜阵列透镜，其由多个具有二个旋转自由度和一个平移自由度的微镜以及致动零件所组成。所述微镜的阵列使所有由物体的一点散射的所有光线具有相同相位，并且会聚于像平面的一点。所述致动零件以静电方法和/或电磁方法控制微镜的位置。通过在微镜下设置机械结构可增加该微镜阵列透镜的光效率，其中机械结构可支持微镜和致动零件。半导体显微电子技术可消除因电极垫和电线所造成的有效反射区损失。通过独立控制各个微镜，该透镜可校正像差。通过已知的半导体显微电子技术可独立控制各个微镜。该微镜阵列也可形成具有希望的任意形状和/或大小的透镜。

主权项

1.一种变焦透镜，包括多个具有二个旋转自由度和一个平移自由度的微镜，其中所述微镜的二个旋转自由度和一个平移自由度被控制，以改变所述透镜的焦距和满足用于光线的相同相位条件，其中所述透镜是折射性(菲涅耳)透镜。