发明名称 COPPER (II) COMPLEXES FOR DEPOSITION OF COPPER FILMS BY ATOMIC LAYER DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR20070048215(A) 申请公布日期 2007.05.08
申请号 KR20077004771 申请日期 2007.02.27
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 BRADLEY ALEXANDER Z.;THOMPSON JEFF S.;PARK, KYUNG HO
分类号 C23C16/18 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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