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发明名称 METHOD OF FORMING THIN FILM, THIN FILM FORMING APPARATUS, PROGRAM AND COMPUTER-READABLE INFORMATION RECORDING MEDUM
摘要
申请公布号 KR100715065(B1) 申请公布日期 2007.05.07
申请号 KR20057016308 申请日期 2005.09.02
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H01L21/205;C23C16/34;C23C16/455;H01L21/285 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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