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发明名称 METHOD OF FORMING THIN FILM PATTERN
摘要
申请公布号 KR20070047624(A) 申请公布日期 2007.05.07
申请号 KR20050104528 申请日期 2005.11.02
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 KWON, GI CHUNG;LEE, NAE EUNG;PARK, CHANG KI;LEE, CHUN HEE;KIM, DUCK HO
分类号 H01L21/027;H01L21/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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