真空系统及其预警方法

摘要

本发明提出一种真空系统，其适于一半导体制程。此真空系统包括多个机台、多个感测器以及一预警与控制单元。这些感测器分别配设于这些机台，以进行感测并输出多个感测值。预警与控制单元系与这些机台和这些感测器电性相连，用以接收来自这些感测器之这些感测值。其中，当一第一条件成立时，预警与控制单元发出一预警讯号，而当一第二条件成立时，预警与控制单元发出一终止讯号。