| 摘要 |
一种微型陀螺仪，包括基座、振动主体、多个驱动电极以及多个感测电极。振动主体是由多个振动环所构成，并配置于基座上方。这些振动环彼此相邻排列成对称图案。而且，以此对称图案之几何中心为参考点来说，相邻之振动环的几何中心相距π/4。驱动电极是配置于基座上，用以驱动振动环产生变形，而使振动主体具有一驱动形变。另一方面，这些振动环亦会依据其所受之科氏力而产生变形，而使振动主体具有一感应形变。其中，振动主体之驱动形变的方向与感应形变的方向相差π/4。此外，感测电极是配置于该基座上，用以感测该振动主体之感应形变。 |
