静电主动器及其驱动方法

摘要

课题提供减低供给驱动电压的系统数，以简单的构成可进行驱动的静电主动器及其驱动方法。解决手段上述定片电极23是具有朝上述移动方向以所定顺序重复所配置的复数电性系统(A，B，C相电极)，将形成同种电性系统的定片电极23间的移动方向的节距尺寸(周期长)3P1与上述活动元件电极33间的移动方向的节距尺寸c作成一致，而且上述活动元件至少具有移动方向的长度尺寸不相同的两种以上的活动元件电极33a1，33b1。