介电膜电容器及其制造方法

摘要

本发明的介电膜电容器系包含有：具开口部且由含白金之材料构成的下电极；设置于下电极之上方且含有具ABOx型钙钛矿构造之氧化物的介电膜；以及设置于介电膜上方的上电极。下电极平面面积相对于介电膜形成区域面积的比例系50％以上。介电膜电容器系包含有：由含白金之材料构成且膜厚10~100nm的下电极；设置于下电极之上方且含有具ABOx型钙钛矿构造之氧化物的介电膜；以及设置于介电膜上方的上电极。