类钻碳膜

摘要

本发明提供一种类钻碳膜，其系由n层结构构成，n值为6～30，每一层之成分为含元素碳、氢及X之类钻碳，X为铬、或钛、或铬钛合金、或氮化铬，由第一层至第n层，各层中X成分原子百分比含量逐渐减少。该类钻碳膜之第m层之成分：a-C：H：(n-m+1)X，m值为1～n。该类钻碳膜可作为保护膜，应用于模具、刀具或磁性存储介质等领域。