| 摘要 |
〔课题〕提供一种能确保涂布液之定量供给，又，能减低细缝喷嘴移动时所产生之振动的涂布装置。〔解决手段〕在以涂布方向做为基准之前方的连结梁7之宽幅方向的部，作为涂布液送液帮浦，设置有藉由非压缩流体来在管之外周部施加均匀的压力以使其动作的管式隔膜帮浦(Tubephragm Pump)12。此管式隔膜帮浦(Tubephragm Pump)12系在安装于连结梁7的上面之楔构件13上，以出口朝向上方入口朝向下方的方式被倾斜固定。藉由如此这般倾斜配置，能防止空气的卡入。另外，将出口及入口设置为不会积存液体的构造，在防止液滴溢出滴落等的观点上来看系为理想。 |
