金刚烷衍生物及其制造方法

摘要

本发明系提供一种于光微影领域中用作感光性树脂等功能性树脂之单体的金刚烷衍生物及其制造方法。本发明为一种具有通式(I)或(IV)所示结构之金刚烷衍生物、及彼等之制造方法。式中，R表示氢原子、甲基或三氟甲基，Y表示碳数为1～10之烷基、卤素原子、羟基或2个Y共同形成之=O。又，复数个Y既可相同，亦可不同。R1表示至少包含一个羟基之碳数为2～20之烃基。k表示0～14之整数，m、n独立表示0或1之整数。