| 摘要 |
本发明系关于一种用于分离附着于晶圆(120)之膜施用表面上之膜(110)的膜分离装置(100)，其包含：用于以该膜施用表面朝上吸附该晶圆之晶圆吸附单元(31)；用于将释放带(3)供应至该膜施用表面上之释放带供应单元(42)；及用于在晶圆边缘处将仅释放带之一部分挤压并加热于晶圆膜上的加热单元(80)。因此，该释放带与膜之间之黏着力系增加于该释放带之特定部分处。该装置进一步包含用于使用以具有改良黏着力之一部分作为分离起始点之释放带来将该膜自晶圆之膜施用表面分离之剥离单元(44)。因此，可容易地将表面保护膜自晶圆分离。 |
