基板定位平台

摘要

一种基板定位平台，用以承载复数个基板于复数个基板固定区中。此基板定位平台至少包括：设置于每一个基板固定区中之复数个真空孔、分别环绕此些真空孔之复数个凹槽、及分别设置于凹槽中复数个防滑元件，用以接触每一个基板之表面。此基板定位平台系使用抽真空的方式来固定每一个基板，而每一个基板之一直角顶角实质对齐于每一个基板固定区的一直角角落。