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发明名称 Ceramic joined body, substrate holding structure and substrate processing apparatus
摘要
申请公布号 US7211153(B2) 申请公布日期 2007.05.01
申请号 US20020276394 申请日期 2002.11.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;B32B18/00;C04B35/44;C04B35/581;C04B37/00;C23C16/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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