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发明名称
摘要
申请公布号 JP2007511088(A) 申请公布日期 2007.04.26
申请号 JP20060539511 申请日期 2004.10.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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