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发明名称 Halbleiteroberflächenprüfungsvorrichtung sowie Beleuchtungsverfahren
摘要
申请公布号 DE112005001294(T5) 申请公布日期 2007.04.26
申请号 DE200511001294 申请日期 2005.06.03
申请人 TOKYO SEIMITSU CO. LTD. 发明人 MIYAZAKI, YOKO;KUROSAWA, TOSHIRO;TAMURA, MUNEAKI
分类号 G01N21/956;G01N21/88;H01L21/66 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
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