Verfahren zur Herstellung von koplanaren Metal/isolierenden mehrlagigen Schichten unter Verwendung eines damaszenen Prozesses mit fliesfähiger Opferoxyd,申请号DE19986037313-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung von koplanaren Metal/isolierenden mehrlagigen Schichten unter Verwendung eines damaszenen Prozesses mit fliesfähiger Opferoxyd
摘要
申请公布号	DE69837313(D1)	申请公布日期	2007.04.26
申请号	DE19986037313	申请日期	1998.06.05
申请人	INFINEON TECHNOLOGIES AG	发明人	FELDNER, KLAUS;GREWAL, VIRINDER;VOLLMER, BERND;SCHNABEL, RAINER FLORIAN
分类号	H01L21/28;H01L21/768;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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